频域热反射成像类似于时域热反射，能够自动完成对样品热导率和界面热阻的二维分布图测量。该技术采用两束连续波激光来分别作泵浦光和探测光。泵浦光被同时调制两个以上频率来加热样品，通过扫描样品重复测量从样品表面反射的探测光的幅值和/或相位，再经传热模型数据处理可提取出样品热物性的二维分布图。